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개요

작동

마이크로브리지 공기유량 센서는 열전도 이론에 기초하여 작동합니다. 질량 공기유량은 감지 소자 표면 전체로 이동합니다. 출력 전압은 패키지의 유출입 포트를 통과하는 질량 공기 또는 기타 가스 유량에 비례합니다. 특수하게 설계된 하우징은 공기유량을 미세구조 감지 소자 전체로 정확하게 보내고 제어합니다. 패키지의 기계적 설계 덕분에 인쇄 회로판에 쉽게 장착할 수 있습니다.

마이크로브리지 공기유량 센서는 고급 미세구조 기술에 기반한 고유의 실리콘 칩을 포함합니다. 히터 및 온도 감지 소자를 포함한 박막 열절연 브리지 구조로 구성되었습니다. 브리지 구조로 칩 위로 흐르는 공기 또는 기타 가스의 유량에 민감하고 빠르게 반응합니다. 중앙 가열 소자의 양쪽에 위치한 이중 감지 소자는 유량의 방향 및 유속을 나타냅니다. 레이저 절삭 후막 및 박막 저항기는 장치 간의 일관된 호환성을 보장합니다.

마이크로브리지 공기유량 센서는 질화 규소 박막 내에 용착된 온도 감지 저항기를 이용합니다. 실리콘에 식각된 캐비티 위로 브리지 두 개가 고정된 방식입니다. 정확한 치수의 공기유량 채널에 위치하여 반복 가능한 유량 반응을 나타냅니다. 히터 및 감지 저항기에 대한 높은 열절연 효과는 유량 센서 브리지 아래의 캐비티 공간을 식각함으로써 발생합니다. 마이크로브리지 공기유량 센서의 작은 크기 및 열절연 효과로 유량에 대해 극도로 빠르게 반응하고 감도를 높입니다.

이중 Wheatstone 브리지는 공기유량 측정을 제어하는데, 하나는 폐회로 히터를 제어하고 다른 하나는 이중 감지 소자를 포함합니다. 히터 회로는 질량 유량에 비례한 출력을 생성함으로써 주변 온도의 변화에 의한 이동을 최소화합니다. 회로는 히터의 온도를 주변 기온 이상에서 일정한 차동(160°C)으로 유지하고, 주변 기온은 칩의 열 흡수 저항기에 의해 감지됩니다. 이 장치의 비율척도식 전압 출력은 Wheatstone 브리지 회로 전체에 흐르는 차동 전압과 일치합니다.

유의 사항

일부 적용 분야에서 발생할 수 있는 분진 오염의 영향이 최소화될 수 있습니다. 기류에 존재할 수 있는 분진은 칩을 지나 칩 표면에 평행하게 흐르도록 설계됐습니다. 이에 더해 미세구조 칩의 열전도 효과로 인해 브리지 구조물에서 마이크로미터 크기의 분진이 떨어져 나갑니다.

단순한 필터는 먼지가 칩 모서리와 채널 표면에 부착되지 않습니다. 대부분 분야에서 공기유량 장치의 상류 쪽에서 일렬로 사용되는 일회용 5마이크론 필터를 이용하면 적절하게 필터링할 수 있습니다.

주의: 제품 손상

AWM 시리즈 마이크로브리지 공기유량 센서는 액체 유량 감지용으로 설계되지 않았기 때문에 센서를 통과하는 액체 유량에 의해 손상될 수 있습니다.
이 지침을 준수하지 않을 경우 제품 손상이 발생할 수 있습니다.

AWM40000 증폭 공기유량 센서 - Honeywell

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제품 신호 조정 온도 보정 유량/압력 범위 매체 호환성
AWM43300V 증폭 1000sccm(1 SLPM) Dry gas only
AWM43600V 증폭 6SLPM Dry gas only

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