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개요

인라인 유량 측정
AWM5000 시리즈 마이크로브리지 공기유량 센서는 벤투리 유형의 유량 하우징을 특징으로 합니다. 최고 20SLPM(분당 표준 리터)까지 측정하며 동시에 2.25" H2O의 최대 압력 강하를 유도합니다. 마이크로브리지 칩은 유량 스트림과 직접 접촉되므로, 오리피스나 우회 채널 막힘으로 인한 오류의 가능성을 상당히 줄여줍니다.

견고한 다용도 패키지
견고한 플라스틱 패키지는 공통 모드 압력을 최대 50psi까지 견디도록 설계됐고, 소형 감지 소자는 성능 저하 없이 100g의 충격을 견딥니다. 포함된 "AMP" 호환 커넥터는 까다로운 응용 분야에서 신뢰할 수 있는 연결을 제공합니다.

온보드 신호 조정
각 AWM5000 센서는 증폭, 선형화, 온도 보정 및 가스 교정을 수행하는 회로를 포함합니다. 유량 범위(5, 10, 15 또는 20SLPM) 또는 교정 가스(질소, 이산화탄소, 이산화질소 또는 아르곤)에 상관없이 모든 목록에 대해 1~5Vdc 선형 출력이 가능합니다. 모든 교정은 활성 레이저로 이뤄집니다.

주의: 제품 손상

AWM 시리즈 마이크로브리지 공기유량 센서는 액체 유량 감지용으로 설계되지 않았기 때문에 센서를 통과하는 액체 유량에 의해 손상될 수 있습니다.

AWM5000 시리즈 공기유량 센서 - Honeywell

문서


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제품 신호 조정 온도 보정 유량/압력 범위 매체 호환성
AWM5101VA 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~5.0SLPM Dry gas only
AWM5101VC 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~5.0SLPM Dry gas only
AWM5101VN 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~5.0SLPM Dry gas only
AWM5102VA 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~10.0SLPM Dry gas only
AWM5102VC 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~10.0SLPM Dry gas only
AWM5102VN 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~10.0SLPM Dry gas only
AWM5103VA 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~15.0SLPM Dry gas only
AWM5103VC 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~15.0SLPM Dry gas only
AWM5103VN 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~15.0SLPM Dry gas only
AWM5104VA 증폭 0°C~50°C[32°F~122°F] 0SLPM~20.0SLPM Dry gas only

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